电子生产企业涉及子系统较多，为互通全厂信息、提升整体管理绩效、简化运转维护困难度、降低管理成本，用更可靠更经济的方案提供全天候的运行与关键系统的控制，将厂务设施各系统的监控资料利用Ethernet、控制器、通讯设备等形成全厂监控，并与子系统无缝集成。
系统具有各层次的监控与控制功能，监控着各子系统，子系统主要包括：洁净室、空调、超纯水、污水处理、化学品供应、真空系统、动力中心、压力系统以及电力与生命安全系统等
厂务监控功能概要：
常见系统结构图
